液氬在半導體制造中扮演著至關重要的角色，其主要作用體現在以下幾個方面。液氬作為冷卻劑，可以有效地降低半導體器件在制造過程中的溫度，防止由于溫度過高導致的器件性能下降或損壞。液氬的化學惰性使得它不會與半導體材料發生反應，確保了制造環境的純凈度。

在半導體器件的清洗過程中，液氬可用于置換清洗液中的空氣，防止氧化，保持半導體表面的清潔。此外，液氬在刻蝕和沉積工藝中，作為惰性氣體保護介質，可以防止半導體表面受到污染。

液氬還廣泛應用于離子注入工藝，其高密度和低熱導率特性使得液氬能夠為離子注入過程提供穩定的氛圍，確保注入過程的準確性。在半導體制造的后處理階段，液氬可用于設備的冷卻和清洗，提高生產效率和產品質量。

綜上所述，液氬在半導體制造中的應用是多方面的，它不僅確保了半導體器件的性能和可靠性，還提高了制造效率和成品率。