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隨著半導體集成電路技術的發展,對電子氣體的純度和質量要求越來越高,我國電子氣體目前發展目標是增加品種、增加產量、提高國產化率,并向完成對特氣生產及應用的全套技術開發的目標努力,技術包括:高危、易燃易爆、腐蝕性、劇毒氣體純化、監測、充裝、輸送、貯存技術,以及安全、環保技術、現場配氣技術、回收與再利用技術等。
同時為提高混合氣使用效率,解決安全使用和運輸電子氣體,特別是高純氟氣的問題, 以推動綠色氣體的使用,以及滿足降低處理廢氣成本和環保要求,從而確定高純電子氣體發展方向為:綠色氣體、現場發生技術和回收技術。